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| 型号 | SEC- (质量流量控制器) | E40/E40MK3 | E50/E50MK3 |
|---|---|---|---|
| SEF- (质量流量计) | E40 | E50 | |
| 适用气体种类*1 | 非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He) | ||
| 气体接触部材质 | SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢 | ||
| 阀门型号 | 非通电时 关闭 | ||
| 标准流量量程 (N2相应F.S.) | 10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM | 20/30 SLM | |
| 流量控制范围 (适于SEC系列) |
2〜100% F.S. | ||
| 流量测量范围 (适于SEF系列) |
0〜100% F.S. | ||
| 响应速度 | 1秒以内(T98) | ||
| 流量精度 | ±1% F.S. | ||
| 直线性 | ±0.5% F.S. | ||
| 反复性 | ±0.2% F.S. | ||
| 工作差压值值 (适于SEC系列) |
10 SCCM〜5 SLM：50〜300kPa(d) 10〜30 SLM:100〜300kPa(d) | ||
| 使用压力 (适于SEF系列) |
300kPa(G)以下 | ||
| 耐 压 | 1MPa(G)以下 | ||
| 外部泄漏率 | 1×10-8Pa・m3/s(He)以下 | ||
| 使用环境温度 | 5〜50℃(精度的确保：15〜35℃) | ||
| 流量设定信号 | 0.1〜5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/2〜100% F.S. | ||
| 流量输出信号 | 0〜5VDC(*小负荷电阻2kΩ) | ||
| 驱动电源 | +15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA | ＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA | |
| 标准接头*2 | 1/4SWL 类型 | ||
| 型号 | SEC- (质量流量控制器) | E60 | E70 | E80 |
|---|---|---|---|---|
| SEF- (质量流量计) | E60 | E70 | E80 | |
| 适用气体种类*1 | N2、O2、Air、H2、Ar、C3H8、CH4、C4H10 | N2、O2、Air、H2 | ||
| 气体接触部材质 | SUS316.氟化橡胶、磁性不锈钢 | |||
| 阀门型号 | 非通电时 关闭 | |||
| 标准流量量程 (N2相应F.S.) | 50/100 SLM | 200 SLM | 300/500 SLM | |
| 流量控制范围 (适于SEC系列) | 5〜100% F.S. | |||
| 流量测量范围 (适于SEF系列) | 0〜100% F.S. | |||
| 响应速度 | 1秒以内(T98) | 2秒以内(T98) | ||
| 流量精度 | ±1% F.S. | ±2% F.S. | ||
| 直线性 | ±0.5% F.S. | ±1% F.S. | ||
| 反复性 | ±0.5% F.S. | ±1% F.S. | ||
| 工作差压值值(适于SEC系列) | 100〜300kPa(d) | 200〜350kPa(d) | ||
| 使用压力 (适于SEF系列) | 350kPa(G)以下 | |||
| 耐 压 | 1MPa(G)以下 | |||
| 外部泄漏率 | 1×10-7Pa・m3/s(He)以下 | 450kPa(G)加压10分钟减压1%以内 | ||
| 使用环境温度 | 5〜45℃(精度的确保：15〜35℃) | |||
| 流量设定信号 | 0.25〜5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/5〜100% F.S. | |||
| 流量输出信号 | 0〜5VDC(*小负荷电阻2kΩ) | |||
| 驱动电源 | ＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA | |||
| 标准接头*2 | 3/8SWL 类型 | 1/2SWL 类型 | ||
*1:关于记载以外的气体种类，请另行咨询协商。
*2也可以适用标准接头以外的接头。请另行咨询协商。
※SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭载有自动清零功能。
※入口压力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3：*大值300kPa(G)；SEC-70/80：*大值350kPa(G)以下。
※ SCCM、SLM是表示气体的流量单位(mL/min、L/min、at、0℃、101.3kPa)的记号。
